Research progress on multidimensional spatial manipulation technology and systems for laser beams
Abstract
电子、航空航天、汽车等行业的不断发展促使对精密设备零部件的高精度加工需求也日益旺盛，精密微孔、微槽等结构是零部件的重要结构单元。传统直接使用激光加工结构的方式存在侧壁锥度问题，即使采用二维、三维振镜等加工设备也难以根除锥度，极大制约了激光加工的更广泛应用。激光光束多维空间调控加工系统通过特定的光学元件组合与运动，赋予了焦点在空间中位置和姿态的多维自由度，适用于高效高精度的复杂微结构加工场景。本文系统的综述了激光光束空间多维调控加工技术的演进脉络与研究现状，基于目前实现激光多维调控的透射式与反射式两大技术流派，系统介绍了两个流派已公布的加工系统技术原理、实现结构，结合国内外最新实验进展，总结了使用相关系统进行实际加工的结果。根据实验结果对比分析了加工系统对加工质量的提升效果，以此对比探讨国内外多种产品的优劣，为多维激光加工系统的更新升级以及工业化应用提供参考和指导。
Fields of Study & Subjects
Laser Material Processing Techniques
Optical Systems and Laser Technology
Advanced Machining and Optimization Techniques
Publication details
- Journal / source
- Scientia Sinica Technologica
- Volume
- 56
- Issue
- 4
- Pages
- 862–886
- Publication date
- 13 February 2026
- Language
- EN