СОВРЕМЕННЫЕ КЛАСТЕРНЫЕ УСТАНОВКИ АЗИАТСКОГО ПРОИЗВОДСТВА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОПЕРАЦИЙ С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИНАХ
Abstract
Одной из важнейших задач при оснащении или модернизации полупроводникового производства является выбор специального технологического оборудования (СТО), отвечающего установленным техническим и технологическим требованиям, а также стандартам качества в сфере микроэлектроники. В статье представлен обзор различных типов кластерных установок, выпускаемых азиатскими производителями, для проведения операций с тонкими пленками на полупроводниковых пластинах. Рассмотрены ключевые технические и технологические параметры кластерного СТО, которые оказывают влияние на процессы травления, осаждения и напыления тонких пленок.
Fields of Study & Subjects
Advanced Materials and Semiconductor Technologies
Semiconductor materials and devices
Diverse Industrial Engineering Technologies
Publication details
- Journal / source
- ELECTRONICS Science Technology Business
- Volume
- 253
- Issue
- 1
- Pages
- 48–48
- Publication date
- 27 January 2026
- Language
- RU