ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГЕРКОНОВ

Приведены результаты исследований, направленных на улучшение эксплуатационных параметров герконов. Разработаны технологические приемы изготовления герконов, основанные на создании микрорельефа на поверхности контакт-деталей за счет их управляемого травления в кислотах. Данные приемы совместимы с существующей технологией изготовления герконов и реализуются на имеющемся производственном оборудовании. Их применение позволяет исключить спекание контакт-деталей при высокотемпературном отжиге, повысить гибкость выводов герконов массовых серий, а также увеличить коэффициент возврата герконов с тонкопленочными защитными покрытиями, сформированными ионно-плазменным методом внутри герконов.