DIN 50450-2:2026-03, Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie_- Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen_- Teil_2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle

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Abstract

DIN 50450-2 - 2026-03 Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen - Teil 2: Bestimmung der Sauerstoffverunreinigung in Stickstoff, Argon, Helium, Neon und Wasserstoff mittels einer galvanischen Messzelle. Jetzt informieren!

Fields of Study & Subjects

Analytical Chemistry and Sensors Advanced Materials and Semiconductor Technologies Gas Sensing Nanomaterials and Sensors

Publication details

Publication date
5 February 2026