Development of an Analysis System for Integrated Parsing and High-Speed Visualization of Multi-Type Wafer Probe Test Data
Abstract
웨이퍼 프로브 테스트는 반도체 제조 공정에서 개별 다이의 전기적 특성과 기능적 이상 여부를 공정 초 기 단계에서 검증하는 핵심 검사 공정이다. 이를 통해 수율 관리와 공정 안정성 분석에 필요한 중요한 기준 데이 터를 확보할 수 있다. 그러나 웨이퍼 프로브 테스트 데이터는 서로 이질적인 파일 형식과 구조로 생성되어, 기존 분석 프레임워크 내에서 통합 분석을 수행하는 데 큰 제약이 있다. 특히 STDF 기반의 EDS 파일은 구조가 복잡 하고 데이터 규모가 커 분석 지연을 유발한다. 이러한 문제를 해결하기 위해 본 연구는 다양한 유형의 웨이퍼 프 로브 테스트 데이터를 단일 환경에서 통합 및 처리할 수 있는 시스템을 개발하고, 동시에 시각화 및 고속 분석 기 능을 제공함으로써 공정 데이터 분석의 효율성과 실시간성을 향상시키는 것을 목표로 한다.
Fields of Study & Subjects
Industrial Vision Systems and Defect Detection
Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis
Embedded Systems and FPGA Design
Publication details
- Journal / source
- The Journal of Next-generation Convergence Technology Association
- Volume
- 10
- Issue
- 2
- Pages
- 663–672
- Publication date
- 28 February 2026
- Language
- KO