DETEKTIV B und DETEKTIV_Aufstockung - Detaillierte Defektanalyse von EpI-Wafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität

RENATE 2026 Open access

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Authors: Charlotte Weiss, Armin Richter, Clara Rittmann, Marion Drießen, Florian Schindler, Paul Wimmer, Christian Kranert
DOI: 10.34657/30874
Cited by: 0

Fields of Study & Subjects

Silicon and Solar Cell Technologies Semiconductor materials and interfaces Integrated Circuits and Semiconductor Failure Analysis

Publication details

Journal / source
RENATE
Publication date
1 March 2026
Language
DE