光学膜厚直接监控系统判停算法的精度

Acta Optica Sinica 2026

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Authors: 张静 Zhang Jing, 李欣芳 Li Xinfang, 董所涛 Dong Suotao, 付秀华 Fu Xiuhua, 杨飞 Yang Fei, 石澎 Shi Peng, 王龙 Wang Long, 李贵洲 Li Guizhou
DOI: 10.3788/aos251547
Cited by: 0
References: 15

Abstract

随着精密光学薄膜技术的快速发展，光学膜厚监控系统在膜厚精确测量和精准控制领域发挥着日益关键的作用。提出一种基于回溯法的膜厚监控算法，该方法基于光学薄膜基础理论，通过薄膜特征矩阵计算公式，结合膜厚监控系统的光路特点，将包含微小入射角的薄膜矩阵计算透射率公式作为目标拟合公式。基于LabVIEW编程平台，采用迭代优化方法对该拟合公式进行精确求解，最终在直接式光学膜厚监控系统中实现了透过率曲线的实时监控与数据采集。通过对比利用回溯法与前极值法得到的透过率判停位置及膜厚误差，结果表明，回溯法的监控精度优于前极值法。采用回溯法制备了750~1700 nm单面双带通滤光膜，以验证其监控精度。测试结果表明，通带中心波长监控误差小于0.0015%，这表明回溯法可实现非规整膜系的稳定监控。

Fields of Study & Subjects

Optical Coatings and Gratings Optical Polarization and Ellipsometry Optical measurement and interference techniques

Publication details

Journal / source
Acta Optica Sinica
Volume
46
Issue
2
Pages
0231001–0231001
Publication date
1 January 2026
Language
EN