金微纳结构飞秒激光3D打印技术（特邀）

Acta Optica Sinica 2026

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Authors: 王奉晨 Wang Fengchen, 邓春三 Deng Chunsan, 韩涛 Han Tao, 薛松岩 Xue Songyan, 胡化策 Hu Huace, 高辉 Gao Hui, 邓磊敏 Deng Leimin, 熊伟 Xiong Wei
DOI: 10.3788/aos251751
Cited by: 0
References: 32

Abstract

三维（3D）贵金属微纳结构具有独特的光学、力学与电子特性，在超表面、电子学、表面增强拉曼散射等领域具有重要应用意义。提出了一种基于金离子螯合吸附原理与飞秒激光直写工艺的3D金微纳结构的增材制造方案。首先，制备了一种具有离子螯合能力的纯有机光刻胶前驱体材料；其次，系统研究了飞秒激光功率与直写速度对前驱体材料聚合形貌的影响，以及离子浸泡时间与吸附次数对金元素质量分数的调控规律；最后，通过热解过程去除有机组分，实现了特征尺寸为93 nm、电导率达2.1×107 S/m的3D金微纳结构的高效制备，对未来金微纳结构在光学、电子学的应用提出了一种新的增材制造路线。

Fields of Study & Subjects

Laser Material Processing Techniques Nonlinear Optical Materials Studies Nanofabrication and Lithography Techniques

Publication details

Journal / source
Acta Optica Sinica
Volume
46
Issue
1
Pages
0122004–0122004
Publication date
1 January 2026
Language
EN