四波横向剪切干涉测量系统的波前校正方法

Acta Optica Sinica 2026

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Authors: 董正琼 Dong Zhengqiong, 郭雨宏 Guo Yuhong, 徐怡心 Xu Yixin, 吴羡 Wu Xian, 赵杭 Zhao Hang, 聂磊 Nie Lei, 朱金龙 Zhu Jinlong
DOI: 10.3788/aos251767
Cited by: 0
References: 24

Abstract

在四波横向剪切干涉测量中，分光光栅和探测器中心线与主光轴之间存在难以避免的微小角度偏差（通常不超过0.5°），进而引入像散像差问题。为此，提出了一种高精度且无需额外调整光路的波前校正方法。首先，基于傅里叶变换法从干涉图中解调出原始差分相位信息；随后，利用改进的自适应阈值随机采样一致性（RANSAC）算法进行迭代筛选，提取出由光路偏差引起的差分相位像差的内点集；然后，结合奇异值分解（SVD）法对该内点集进行平面拟合，得到表征像差分布的误差平面参数；最后，对原始差分相位进行倾斜校正，从而提高待测波前的重建精度。仿真结果表明，在光路角度偏差为0.57°的条件下，利用所提方法对差分相位进行像差校正后，波前重构结果的均方根（RMS）和峰谷（PV）值与真值之间的相对误差由校正前的26.49%和79.86%下降至0.66%和0.77%。实验中，以白光干涉仪测量结果为参考，样品重构形貌对应的RMS和PV值的相对误差分别从25.58%和36.32%降低至1.18%和2.87%，在很大程度上验证了所提方法的有效性。

Fields of Study & Subjects

Optical measurement and interference techniques Adaptive optics and wavefront sensing Digital Holography and Microscopy

Publication details

Journal / source
Acta Optica Sinica
Volume
46
Issue
1
Pages
0122031–0122031
Publication date
1 January 2026
Language
EN