THE ROLE OF REFLECTING MIRRORS IN THE MASKLESS LITHOGRAPH DEVICE

ICSP «NEW SCIENCE» eBooks 2026 Book chapter Open access

Read full text
Authors: Dmitry Alexandrovich Gubin
DOI: 10.46916/04032026-2-978-5-00276-021-3
Cited by: 0

Abstract

МЦНП «НОВАЯ НАУКА» РОЛЬ ОТРАЖАЮЩИХ ЗЕРКАЛ В УСТРОЙСТВЕ БЕЗМАСОЧНОГО ЛИТОГРАФА Губин Дмитрий Александрович аспирант Научный руководитель: Щагин Анатолий Васильевич д.т.н

Fields of Study & Subjects

Advancements in Photolithography Techniques Advanced optical system design Nanofabrication and Lithography Techniques

Publication details

Journal / source
ICSP «NEW SCIENCE» eBooks
Publication date
1 January 2026
Language
RU
Document type
Book chapter