高精度半导体掺杂与器件集成

中国科学院科学数据中心 2026 Dataset Open access

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Authors: 张凤娇
DOI: 10.57841/casdc.0006771
Cited by: 0

Publication details

Journal / source
中国科学院科学数据中心
Publication date
5 January 2026
Document type
Dataset