Design and fabrication of superconducting asymmetric coplanar waveguide transmission lines on lithium niobate substrate
Abstract
本文面向跨温区光电互联的低温电光调制器应用，设计并制备了一种高性能、可扩展的弯曲结构超导非对称共面波导传输线．传输线采用非对称共面波导结构，将中心电场强度提升了约90%；圆环弯曲结构实现了有限芯片面积内传输线长度有效拓展；集成介质桥结构显著改善了弯曲区域阻抗不连续的问题．设计了一种基于SU-8光刻胶的介质桥制备工艺流程，利用微纳加工技术在铌酸锂衬底上实现集成介质桥结构的超导传输线制备，并使用低温探针台对其低温下的高频传输特性进行测试．结果表明，所制备的弯曲传输线在4.2 K低温环境下展现出59 GHz的3 dB带宽，证明该结构能够有效满足长超导行波电极的制备需求．
Fields of Study & Subjects
Superconducting and THz Device Technology
Microwave Engineering and Waveguides
Photorefractive and Nonlinear Optics
Publication details
- Journal / source
- Acta Physica Sinica
- Volume
- 75
- Issue
- 9
- Publication date
- 1 January 2026
- Language
- ZH